Caractéristiques:

• Isolation pneumaticoélectronique active permettant le contrôle de six degrés de liberté.
• Isolation antivibratoire extrèmement performante sans résonance surélevée.
• Positionnement extrèmement précis en direction verticale et horizontale.
• Compression, débattement et temps de stabilisation minimaux lors d’un changement de charge de la machine.
• Régulation en temps réel très performante.
• SPS, bus CAN, et, selon le degré de liberté, un régulateur et une soupape proportionnelle ultra-dynamique.
• Chaque régulateur possède un microprocesseur et des capteurs intégrés ultraprécis de position, de pression et d’accélération.
• Logiciel WinSNI intelligent et facile à utiliser pour la mise en service et le diagnostic.
• Possibilité de commutation digitale facile entre le mode scanneur (pour les opérations sensibles) et le mode chargement (pour les opérations de chargement / déchargement).
• Signal d’action anticipée non nécessaire.
• Pas de production pertubatrice de chaleur, pas de changement de champ magnétique ni de consommation élevée d’électricité comme pour les aimants magnétiques ou les moteurs linéaires.

Champs d’application:

Isolation antivibratoire optimale pour les appareils de mesure et d’essai ultradynamiques, pour les équipements laser, pour les microscopes à haute résolution ainsi que pour les appareils de contrôle et les machines de production dans l’industrie des semi-conducteurs.

Le système AIS™ s’emploie dans les cas où l’effet isolatoire et les temps de réaction des isolateurs pneumatiques conventionnels à système classique de régulation de niveau ne sont pas suffisants.

AIS™ possède deux fonctions essentielles:

Il protège la machine sensible aux chocs des vibrations transmises par le sol, réduit au sein des équipements les oscillations provoquées par un changement de charge ou par des mouvements de la machine, et raccourcit les périodes de stabilisation.

Avantages par rapport aux systèmes pneumatiques classiques:

• Fréquence de résonance horizontale réglable
• Taux d’amortissement horizontal réglable
• Fréquence de résonance très basse, donc isolation antivibratoire extrèmement performante
• Pas d’effets de frottement incontrôlés (par ex des mouvements saccadés)
• Associé au système AIS™, pas d’amplification de résonance
• Taux d’amortissement exceptionnellement élevé
• Durées de stabilisation minimales
• Très haute précision de positionnement

Le système AIS™ est composé d'un contrôleur CLP (Contrôleur
à Logique Programmable), un CAN-Bus, des contrôleurs 16
bits, des soupapes électro-pneumatiques proportionnelles
rapides, des isolateurs pneumatiques à membranes BiAir®
et/ou des isolateurs horizontaux HAB®. Une large gamme
d'isolateurs horizontaux HAB™ et verticaux BiAir® permettent
d'optimiser tout système à isoler. Un contrôleur 16-bits et une
soupape électro-pneumatique proportionnelle rapide sont
couplés à chaque isolateur ou groupe d'isolateurs. AIS™
travaille avec un minimum de 3 groupes d'isolateurs et peut
gérer jusqu'à 6 degrés de liberté.Chaque régulateur SPC-LC est relié au contrôleur CLP au travers du CAN-Bus. Pour la mise en route et le diagnostic dusystème, il est possible de brancher un PC sur le circuit de commande grâce à une prise standard RS 232. Le régulateurSPC-LC est fixé, soit sur l'isolateur, soit sur la machine dansle sens de travail de l'isolateur. Chaque régulateur intègre un
microprocesseur, un capteur de position (résolution 0,2μm),
un accéléromètre (résolution 8μg) et un capteur de pression
(résolution 0,2mbar). Toutes les informations des capteurs
sont échantillonnées avec une fréquence de 4kHz. Etant donné
que chaque régulateur possède son propre microprocesseur
(et pas seulement l'unité de commande) et que chaque
régulateur est couplé à une soupape proportionnelle rapide,
on peut annoncer un système actif EN TEMPS REEL. Le système
AIS™ fonctionne de manière tout à fait autonome, en effet,
la régulation n'a aucun besoin de signal retour (FEEDFORWARD)
issu de la machine proprement dite, pour travailler.

Le contrôleur CLP possède une prise digitale entrée/sortie
pour gérer différentes informations: Système prêt, supervision
de la pression, positionnement, tension, changement de mode
(scanning / loading), arrêt d'urgence. Le changement de mode
a un avantage de tout premier ordre: lors des variations de
répartition de charge, le système est plus agressif et plus
réactif et plus précis dans son repositionnement, alors que le
mode scanning assure une isolation plus souple et un
repositionnement moins agressif.